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2025-08-28 0
上海通嘉宏盛半导体取得气体控制结构专利，有效提高生产效率和生产质量
健康生活
2025年08月02日 14:04 2
admin
金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司取得一项名为“一种气体控制结构”的专利，授权公告号CN223176207U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本公开提供一种气体控制结构，属于半导体技术领域，气体控制结构包括：第一进气管路，所述第一进气管路上设置有第一流量控制结构，用于控制通入所述第一进气管路中的制程气体的流量；第二进气管路，所述第二进气管路上设置有第二流量控制结构，用于控制通入所述第二进气管路中的离子气体的流量；所述第一进气管路的出气口和所述第二进气管路的出气口分别与RPS装置的入口连接。
天眼查资料显示，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司专利信息12条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自金融界
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