广东先导微电子取得衬底片清洗装置专利，有助于去除表面附着的污物

抖音热门 2025年08月02日 14:04 2 admin

金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种衬底片清洗装置”的专利，授权公告号CN223181080U，申请日期为2024年06月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种衬底片清洗装置，包括用于装清洗液体的水槽、夹具组件、旋转驱动件、升降驱动组件以及支架，所述旋转驱动件与所述夹具组件连接，以驱动所述夹具组件做旋转运动，所述升降驱动组件安装于所述支架，所述升降驱动组件与所述旋转驱动件连接，以使得所述夹具组件悬置于所述水槽中，并带动所述夹具组件做升降运动。本实用新型利用旋转驱动件驱动其旋转，可以使得清洗液在衬底片表面产生均匀的流动，有助于去除表面附着的污物。此外，本实施例通过升降驱动组件调整升降的频率来控制浸泡的时间，满足不同需求的浸泡清洗，增加了清洗的灵活性。

天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54384万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目39次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息530条，此外企业还拥有行政许可183个。

本文源自金融界