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厦门这家半导体公司节水举措效益显著

抖音热门 2025年09月10日 12:36 1 admin

海峡导报·新福建客户端9月10日讯(记者 陈金龙)水,是生命之源,也是工业之脉。厦门坚持以水定产、以水定城,大力推进工业节水改造,推动高耗水行业节水增效,推进工业企业和园区开展水循环梯级利用。

厦门这家半导体公司节水举措效益显著

工业企业是节水减排的“主力军”。2025年8月29日上午,厦门市农业农村局专家组对厦门士兰明镓化合物半导体有限公司水平衡测试项目开展现场技术复核。作为高新技术企业,该公司始终坚持绿色低碳、节能环保的理念,节能减排工作突出,节水举措成效显著。

节水企业简要概况

厦门士兰明镓化合物半导体有限公司(以下简称“士兰明镓”)成立于2018年2月1日,是杭州士兰微电子股份有限公司与厦门半导体投资集团有限公司共同投资设立的化合物半导体制造企业。公司总部位于厦门市海沧区兰英路99号,占地面积为45680.82㎡,建筑面积为66306.05㎡,绿化面积约为8100㎡,主要从事集成电路制造、光电子器件及第三代半导体芯片的研发生产。厂区全年不间断生产。截至2025年,公司拥有员工已逾1500人。

作为专业从事SiC功率器件、高端LED芯片研发制造的高新技术企业,士兰明镓生产涉及高纯水制备、晶圆清洗等耗水环节。2024年建成投产的SiC功率器件生产线及PSS衬底生产线,均配套建设了循环水处理系统。

“四举措”推动节水

士兰明镓十分重视节能减排、节约用水工作,成立了节水工作领导小组,明确专职节水员监督节水管理工作,自上而下形成管理网络,并不断健全各项规章制度,在日常工作中抓好节水巡查和监控,加强现场“跑、冒、滴、漏”管理。主要有以下四方面举措来推动节水:

一是污水处理使用RO浓水。2023年12月,启用RO浓水用于废水处理药剂配置用水,节水量约15.60m³/d,年节水量约5694m³,节水效益为2.33万元/年。

二是增设UF浓水回用设施。2024年11月至2025年7月,先后投入11.2万元,在一层纯水车间增设UF浓水过滤设备(超滤膜组件),将一期二期UF浓水、仪表排水、三期纯水抛光处理浓水和仪表排水进行处理,产水回收至UF水箱,重新进入一期二期纯水处理。节水量约390.00m³/d,年节水量约14.24万m³,节水效益为58.36万元/年。

三是生产工艺改进。近年不断对生产线工序进行改进,生产线清洗适当缩短时长和冲刷频次,减少超纯水用量,在2024年5月工艺改进之后,相较于之前,芯片生产清洗每年可节约超纯水用量约4.015万m³(技术人员统计数据,平均每天节水量约110m³),节水效益为16.46万元/年。

四是绿化管道改造。2025年3月,投入2.36万元,对部分因连接不良而发生渗漏的绿化管道,由钢丝骨架管更换为UPVC管,节水量约600m³。

下阶段节水规划

士兰明镓作为国内第三代半导体产业标杆企业,下阶段节水规划将对MAU冷凝水溢流回收以及智能能耗平台建设进行可行性评估。该公司通过系统化水资源管理实践,为集成电路制造行业节水减排提供了节水经验样本,也推动了厦门市的节水工作。

厦门市农业农村局将进一步推进水平衡测试工作的开展,加强对各企业、单位节水管理和节水技术的指导,巩固和深化国家节水型城市创建工作,促进城市绿色低碳节水减排发展。

来源:海峡导报

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