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2025-08-17 0
华海清科申请一种晶圆清洗装置专利，可移除积聚于转动件的颗粒物
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2025年08月17日 09:20 1
admin
金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗装置”的专利，公开号CN120497163A，申请日期为2022年08月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：槽体；支撑组件，位于所述槽体中，其为转动件，用于竖向支撑并带动待清洗晶圆旋转；清洗刷，水平设置并绕其轴线滚动；清洁件，位于所述槽体中，用于朝向转动件喷射流体，以移除积聚于转动件的颗粒物；所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息700条，此外企业还拥有行政许可31个。
本文源自金融界
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