微玖光电申请具有直角或近直角侧壁的Micro LED制备方法专利，成功解决Micro LED台面侧壁无法采用大角度设计的问题

游戏天地 2025年08月07日 19:42 1 admin

金融界2025年8月7日消息，国家知识产权局信息显示，微玖（苏州）光电科技有限公司申请一项名为“一种具有直角或近直角侧壁的Micro LED制备方法”的专利，公开号CN120435123A，申请日期为2025年07月。

专利摘要显示，本申请公开了一种具有直角或近直角侧壁的Micro LED制备方法，包括以下步骤：S1，在外延层表面沉积掩膜层；S2，使用掩膜版，得到图形化光刻胶；S3，刻蚀掩膜层，去胶后得到图形化掩膜层；S4，采用改进的ICP工艺刻蚀外延层；S5，采用可动态调整角度的旋转样品台，沉积钝化层；S6，使用掩膜版，得到图形化光刻胶；S7，刻蚀钝化层，去胶后得到图形化钝化层；S8，使用掩膜版，得到图形化光刻胶；S9，镀金属层，经去胶与金属抬离后得到图形化的正负电极结构；本申请通过采用改进的膜层沉积工艺与ICP刻蚀工艺，成功解决了Micro LED台面侧壁无法采用大角度设计的问题；能够实现更小的像素间距，并且工艺不受外延片厚度的影响，制备出性能更优的Micro LED显示产品。

天眼查资料显示，微玖（苏州）光电科技有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本266.666667万人民币。通过天眼查大数据分析，微玖（苏州）光电科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息11条。

本文源自金融界