长鑫科技申请光罩及对准方法专利，提高对准精度

抖音热门 2025年08月04日 23:43 1 admin

金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“光罩及对准方法”的专利，公开号CN120406057A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本公开提供了一种光罩及对准方法，涉及半导体技术领域。所述光罩包括：N个子光罩，N个子光罩依次曝光后形成的曝光区域按预定方式相邻排布；其中，N个子光罩中两个子光罩分别为第一子光罩和第二子光罩，第一子光罩对应的曝光区域与第二子光罩对应的曝光区域相邻，第一子光罩上设置有M个第一掩模标识，第二子光罩上设置有M个第二掩模标识，M个第一掩模标识与M个第二掩模标识一一对应，且相对应的第一掩模标识和第二掩模标识共同组成完整的标识图案，标识图案位于光罩的芯片区。

天眼查资料显示，长鑫科技集团股份有限公司，成立于2016年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析，长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了18家企业，参与招投标项目1081次，财产线索方面有商标信息236条，专利信息466条，此外企业还拥有行政许可34个。

本文源自金融界