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晶芯成等申请一种半导体器件及其制备方法、集成电路专利,抑制NBTI效应

百科大全 2025年08月04日 20:04 1 admin

金融界2025年8月4日消息,国家知识产权局信息显示,晶芯成(北京)科技有限公司;合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种半导体器件及其制备方法、集成电路”的专利,公开号CN120417463A,申请日期为2025年07月。

晶芯成等申请一种半导体器件及其制备方法、集成电路专利,抑制NBTI效应

专利摘要显示,本说明书提供了一种半导体器件及其制备方法、集成电路,该器件中,第一栅绝缘层包括氧化部分和氮氧化部分,其中,氧化部分位于氮氧化部分背离衬底一侧。如此,一方面可以利用氮元素的高K值特性,使得氮氧化部分具有较小的EOT,从而降低第一栅氧化层整体的等效氧化层厚度,抑制NBTI效应,改善器件性能。另一方面,第一栅绝缘层中的氧化部分位于氮氧化部分背离衬底一侧,使得在第一栅绝缘层的图形定义过程中,氧化部分可以作为氮氧化部分的保护层,避免氮氧化部分与用于去除掩膜的清洗液的反应,避免了清洗液对第一栅绝缘层顶部(即背离衬底一侧)的损伤,保证第一栅绝缘层对NBTI效应的抑制效果。

天眼查资料显示,晶芯成(北京)科技有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本20万人民币。通过天眼查大数据分析,晶芯成(北京)科技有限公司专利信息220条,此外企业还拥有行政许可1个。

合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目630次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1185条,此外企业还拥有行政许可21个。

本文源自金融界

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