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2025-08-21 0
歌尔光学申请晶圆匀胶设备等相关专利，使第一面与匀胶吸盘保持非接触状态
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2025年08月02日 04:08 2
admin
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，歌尔光学科技有限公司申请一项名为“晶圆匀胶设备、晶圆双面匀胶方法及晶圆匀胶系统”的专利，公开号CN120394303A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种晶圆匀胶设备、晶圆双面匀胶方法及晶圆匀胶系统；其中，晶圆匀胶设备包括匀胶吸盘、真空吸附管路、供气管路及载台；匀胶吸盘具有多个气孔，用于承载待匀胶的晶圆；真空吸附管路与匀胶吸盘相连，在晶圆的第一面匀胶时，用于通过气孔对晶圆的第二面真空吸附，及在第一面匀胶完成后释放第二面，使晶圆可被翻转至第二面背离匀胶吸盘；供气管路与匀胶吸盘相连，在第二面匀胶时，用于通过气孔向第一面提供气流，以在匀胶吸盘与第一面之间形成气体层，气体层可支撑晶圆处于悬浮状态，以使第一面与匀胶吸盘保持非接触状态；载台用于承载匀胶吸盘，匀胶吸盘被配置为能够相对于载台转动。
天眼查资料显示，歌尔光学科技有限公司，成立于2012年，位于潍坊市，是一家以从事橡胶和塑料制品业为主的企业。企业注册资本98196.0745万人民币。通过天眼查大数据分析，歌尔光学科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目43次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息2738条，此外企业还拥有行政许可24个。
本文源自金融界
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