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2025-07-28 0
金融界2025年7月28日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于基板处理腔室的升降组件及相关方法及部件”的专利,公开号CN120380590A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本公开涉及用于基板处理腔室的升降组件、以及相关方法及部件。在个实施方式中,一种用于关于基板处理腔室设置的升降组件包括第一马达、耦接到所述第一马达的第一驱动组件及耦接到所述第一驱动组件的第一支撑块。所述第一马达被配置为使用所述第一驱动组件线性地移动所述第一支撑块。所述升降组件包括第二马达、耦接到所述第二马达的第二驱动组件及耦接到所述第二驱动组件的第二支撑块。所述第二马达被配置为使用所述第二驱动组件线性地移动所述第二支撑块,并且所述第二马达被配置为独立于线性地移动所述第一支撑块的所述第一马达来线性地移动所述第二支撑块。
本文源自金融界
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