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2025-07-25 0
江苏芯势科技申请收光装置空间位置调节机构及调节方法专利 提高晶圆缺陷检测灵活性
百科大全
2025年07月24日 03:20 2
admin
金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏芯势科技有限公司申请一项名为“一种收光装置的空间位置调节机构及调节方法”的专利，公开号CN120352350A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明公开了一种收光装置的空间位置调节机构及调节方法，包括周向调节模块和通道调节模块，周向调节模块带动收光装置沿晶圆周向运动，用于调节收光装置的周向收光角度。通道调节模块根据散射光的倾角大小，在与晶圆表面倾角为大于0°小于等于90°的空间范围内,调节收光装置的倾向收光角度，上述范围涵盖本领域中通常理解的散射光的宽、窄通道。
天眼查资料显示，江苏芯势科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1256.410225万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏芯势科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自金融界
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