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专利摘要显示,公开了一种用于在分裂过程中保持半导体工件的设备。该设备包括聚合物和框架。框架与聚合物连接并包围聚合物。该聚合物被配置为当被冷却到低于临界温度时至少经历部分玻璃化转变,并且当具有高于临界温度的温度时是弹性的。该聚合物包括第一区,第一区具有半导体工件可以附接到其的表面。
本文源自金融界
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