光科芯图申请一种多电源的极紫外光生成系统和方法专利，提高极紫外光辐射的功率和亮度

健康生活 2025年08月22日 18:14 1 admin

金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，光科芯图（北京）科技有限公司申请一项名为“一种多电源的极紫外光生成系统和方法”的专利，公开号CN120522979A，申请日期为2024年02月。

专利摘要显示，本发明涉及等离子体技术领域，特别涉及一种多电源的极紫外光生成系统和方法。所述系统包括：极紫外光发生器、电源装置和延迟装置；电源装置与极紫外光发生器电性连接，并向极紫外光发生器内部施加电流脉冲以辐射极紫外光；电源装置包括多个电源模块，每个电源模块单独产生电流脉冲用于辐射极紫外光；延迟装置与电源装置控制连接，以控制多个电源模块工作。本发明通过设置延迟装置来控制多个电源模块的放电时间，使其产生电流脉冲作用在极紫外光发生器内靶材的重复频率提高，从而提高极紫外光辐射的功率和亮度；且电流脉冲高频地作用于靶材，可以使极紫外光发生器内的等离子体状态较为稳定，从而提高了极紫外光辐射的稳定性。

天眼查资料显示，光科芯图（北京）科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本35555.55万人民币。通过天眼查大数据分析，光科芯图（北京）科技有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息88条，此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自金融界