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2025-08-22 0
ASML荷兰取得推断光刻工艺处理参数值的方法相关专利
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2025年08月22日 11:04 1
admin
金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司取得一项名为“用于推断诸如焦距的处理参数的方法和相关联装置和制造方法”的专利，授权公告号CN114616523B，申请日期为2020年09月。
本文源自金融界
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