9999万索赔，打脸美国！高端光刻机市场被中国撕开一道口子

抖音快讯 2025年08月21日 00:32 1 admin

这事儿最近闹得挺大，国内半导体圈子都炸锅了。一边是中国企业屹唐股份直接把美国巨头应用材料公司告上法庭，索赔9999万人民币，另一边杭州那边首台国产商业电子束光刻机“羲之”刚问世，精度直达0.6纳米。

这俩事儿前后脚发生，搁一块儿看，就跟中国半导体产业在技术封锁下硬生生杀出一条血路似的。

话说回来，美国那边老想着卡脖子，限制芯片出口啥的，可中国企业也没闲着，通过法律和自主研发双管齐下，慢慢把高端设备市场撕开一道口子。这不光是钱和技术的事儿，还牵扯到国家科技自立的底气。

先说说屹唐股份起诉应用材料这档子事儿。屹唐股份是北京的一家半导体设备公司，成立于2015年底，主打热处理、等离子体刻蚀和薄膜沉积设备。2025年7月8日刚在科创板上市，市值蹭蹭往上窜，达到676亿左右。

8月13日晚，他们发公告，说应用材料公司非法获取并使用了他们的核心技术秘密，还在中国申请专利把这些秘密公开了。

涉案技术主要是等离子体源和晶圆表面处理，这玩意儿在7纳米以下先进芯片制造工艺里关键得很。屹唐直接向北京知识产权法院递了起诉书，案号是（2025）京73民初908号，要求应用材料停止使用这些技术，销毁相关东西，并赔9999万的经济损失加上维权费用。

为什么是9999万呢？这数字听着就差一口气满亿，估计是屹唐在算账时考虑到实际损失，还加了三倍惩罚性赔偿。应用材料是美国半导体设备老大，年营收超200亿美元，在全球市场份额不小，在中国也有办事处，卖设备赚了不少钱。

可他们被指控通过招聘屹唐前员工的方式偷技术。屹唐在2022年收购了美国Mattson Technology公司，作为全资子公司，那俩前员工就是在Mattson干活的，掌握了核心技术，离职时签了保密协议，结果没多久就跳槽到应用材料，还成了后者在华专利申请的主要发明人。

2023年初员工离职，2024年应用材料提交专利，内容跟屹唐的机密高度重合。这事儿搁谁身上都得火大，屹唐调查后觉得证据够硬，就直接开干了。

应用材料那边回应说会积极应诉，但没多透露。业内人分析，这案子背景是中美半导体摩擦越来越烈。美国从2023年起加强出口管制，应用材料虽在中国做生意，但得遵守美方规则。现在中国企业用法律武器反击，等于在说，你们别一边吃中国市场一边砸锅。

屹唐表示，这诉讼不会影响正常经营，最终结果看法院判，但这已经给国内企业提了个醒，保护知识产权得下狠手。类似案子以前也有，技术泄露往往从内部员工开始，造成巨大损失。这次屹唐站出来，等于给整个行业打了样。

转头再说杭州的电子束光刻机“羲之”。8月14日，杭州日报报道，全国首台国产商业电子束光刻机在浙江大学成果转化基地进入应用测试阶段。这设备叫“羲之”，取自王羲之的名字，意思是像毛笔一样在芯片上写电路。

由浙江大学余杭量子研究院团队依托省重点实验室自主研发，精度高达0.6纳米，线宽8纳米。0.6纳米啥概念？人类头发丝直径大约6万纳米，这精度相当于头发丝的十万分之一，精细到原子级别。

传统光学光刻机靠掩膜版投影图案，每改设计就得重做掩膜，成本高时间长。电子束光刻机不一样，直接用高能电子束在硅基上扫描书写电路，无需掩膜，能随时改设计，特别适合量子芯片和新型半导体研发。

效率上它慢点，每片晶圆得几小时，但精度高，专攻小批量高端领域。项目从2022年启动，团队一步步攻克电子光学系统和束流稳定问题，2024年中期原型机点亮，2025年优化后正式投市场。现在多家企业和研究机构已经在测试，助力量子芯片生产。

这设备诞生时机巧妙，正好赶上屹唐起诉那会儿。高端光刻机市场长期被荷兰ASML垄断，中国企业过去总得进口，受制于人，面临禁运风险。现在“羲之”出来，等于在中国半导体产业链上补了个短板。

杭州城西科创大走廊支持下，这玩意儿不光填补空白，还能推动国产化进程。电子束技术绕过了EUV光刻机的难点，避免直接硬刚垄断领域，转而从灵活性和精度上发力。

俩事儿搁一块儿看，逻辑挺清楚。中国半导体产业面对外部封锁和内部泄密双重压力，没坐以待毙，而是从法律、技术和战略三方面出招。法律上，国家网信办联合部门搞专项行动，清查外资企业技术合规，出台新规要求核心技术人员签终身保密协议，违规追刑责。企业也跟上，中微公司之类的推“金手铐”计划，给骨干股权激励，离职十年禁跳槽竞争对手。这套组合拳，筑牢了内部防线。

技术上，中国加大研发投入，北方华创的刻蚀机、中微的薄膜沉积设备已进国际供应链。“羲之”就是典型，标志着从依赖进口到自主可控的转变。战略上，从被动防御转主动出击，屹唐起诉就是例子，不再忍气吞声，而是用国际规则反制。加上“一带一路”合作，中国在全球半导体话语权渐增。

话说回来，这不光是打脸美国那么简单。应用材料被起诉，暴露了他们双重标准，一边在中国卖设备，一边参与美方围堵。那些前员工泄密，纯粹为私利，忽略国家利益，职业生涯肯定受影响。整体看，中国半导体崛起靠实力，不是靠别人让路。未来，类似突破会越来越多，产业链自主化加速。