格科半导体申请研磨剂分配装置等专利，可调整流出端位置

百科大全 2025年08月16日 01:16 1 admin

金融界2025年8月15日消息，国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“研磨剂分配装置、半导体制造设备及控制方法”的专利，公开号CN120480813A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明公开了一种研磨剂分配装置、半导体制造设备及控制方法，研磨剂分配装置用于半导体制造设备，包括主体和支架，主体内部构造有用于使研磨剂流通的管路系统，管路系统包括第一管路、第二管路、第一开关和清洗管路，第一管路一端连通至半导体制造设备的过滤盒，用于使经过过滤的研磨剂从过滤盒流入研磨剂分配装置；第二管路一端流通至第一管路，另一端作为使研磨剂从研磨剂分配装置流出的流出端；第一开关设置在第一管路和第二管路之间；清洗管路一端连通至第二管路，用于向第二管路输送清洗液；支架设置在主体下端，用于支撑主体；支架内部设置有驱动机构，用于驱动主体相对于支架转动，以调整所述流出端的位置。

天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本450000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目21次，专利信息113条，此外企业还拥有行政许可89个。

本文源自金融界