安徽长飞先进半导体申请一种外延工艺专利，减少回流带起的颗粒物落在衬底表面的数量

百科大全 2025年08月15日 10:35 1 admin

金融界2025年8月15日消息，国家知识产权局信息显示，安徽长飞先进半导体股份有限公司申请一项名为“一种外延工艺”的专利，公开号CN120485945A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本申请公开了一种外延工艺，包括提供外延炉，外延炉包括传输腔、工艺腔、第一阀门和排气口，传输腔通过第一阀门与工艺腔相连通，排气口与传输腔和工艺腔相连通。打开排气口，将衬底转移至传输腔内，向传输腔内通入第一气体，向工艺腔内通入第二气体，并开启第一阀门。停止向工艺腔内通入第二气体，将衬底从传输腔转移至工艺腔内。第一气体和第二气体形成回流，带起颗粒物，此时停止向工艺腔内通入第二气体，并打开排气口，第一气体将回流带起的颗粒吹入排气口，持续一段时间后第一阀门附近无颗粒。此后将衬底从传输腔转移至工艺腔内。可以减少回流带起的颗粒物落在衬底表面的数量，降低后续外延片上掉落物缺陷和三角形缺陷的数量。

天眼查资料显示，安徽长飞先进半导体股份有限公司，成立于2018年，位于芜湖市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本31000.1146万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽长飞先进半导体股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息78条，专利信息198条，此外企业还拥有行政许可12个。

本文源自金融界