中国光刻机再突破！哈工大扛大旗，德国专家：比预期快了至少五年

游戏天地 2025年08月14日 22:24 1 admin

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2024年盛夏，哈尔滨工业大学实验室里，一束极紫外光刺破技术封锁的阴霾——中国自主研发的DPP光源原型机通过关键测试，德国半导体专家惊叹：“中国速度比全球预期快了五年！”

倒转至三年前，ASML掌门人的断言仍如芒在背：“即便公开图纸，中国也造不出EUV光刻机。”这句话被印在哈工大光刻机项目组的墙上，成为日夜攻关的刺目警钟。

而今日的突破，始于2019年美国芯片制裁的至暗时刻。当时，华为等企业被切断先进制程供应，中芯国际购入的EUV光刻机滞留港口，中国半导体产业被逼至悬崖边缘。

一句狂言，两股激流

“就算把图纸给你，你也造不出来。”这句出自荷兰光刻机巨头CEO之口的断言，与其说是预言，不如说是一道赤裸裸的战书。可谁能想到，短短几年，这句狠话没能成为警示牌，反而被一些实验室当作了墙上的最扎眼的标语。

这句刺耳的断言，如同劈向坚石的闪电，在中国芯的产业图景中，硬生生劈出了两道截然不同的路径。一道是迎着技术铜墙铁壁的正面强攻，选择的是最直接、也最艰难的硬碰硬。

另一道，则是寻找地图上未曾标记的路径，在主流之外另辟蹊径，它们像两条涌动的激流，奔向同一个目标，却采取了迥异的方式。

啃下最硬的骨头

所谓正面强攻，听起来有点笨，却意味着直面那些被宣告“不可能”的技术细节，用近乎偏执的毅力去啃最硬的骨头。想象一下，为了让机械臂能精准抓取比头发丝还薄数百倍的芯片，一个团队可以连续十八个月，每天重复测试两百次。

他们唯一的执念，就是把误差从零点几毫米硬生生降到零点零八，负责人话说得坦率：“别人的技术是几十年经验堆出来的，我们没有捷径，唯一能做的就是一步步追。”这种追赶，无关宏大志向，只关乎那毫厘之间的极限超越。

同样的故事，发生在调试等离子体的实验室里，为了让放电等离子体（DPP）光源稳定下来，工程师们前后试验了超过两百组参数。他们将电极间距从0.5毫米到2毫米，以肉眼都难以分辨的微小步进反复测试，记录数据写满了二十三个笔记本。

当光源终于有一次稳定了十秒，整个监控室里的人大气都不敢出，直到有人发现，旁边同事的眼泪已经憋得满脸通红，这种沉默的狂喜，是硬碰硬回应中最具分量的注脚。

走一条，曾被叫做“歪路”的路

然而，单纯的苦干并不总能解决所有问题，有时甚至会撞得头破血流，当主流的激光等离子体（LPP）路线被技术专利和高昂门槛层层封锁时，另一条思路悄然浮现：既然此路不通，何不另寻他途？何必非要挤上那条拥挤的独木桥？

哈尔滨工业大学的团队，他们没有在别人铺好的赛道上跟风，而是押注了更具挑战性、一度不被看好的DPP路线，这条路，原理是用电火花放电来激发光源，巧妙地绕开了现有的技术壁垒。

起初，这被外界视为一条“歪路”，没人觉得能走通，然而，正是这条看似荒僻的道路，让中国拥有了自主的光源技术种子。

2022年春天，那束属于中国自己的EUV光源第一次点亮了3秒，随后，它被小心翼翼地延长到1分钟，到现在已经能连续稳定工作两个小时，汇报成果时，李教授的声音都在颤抖：“我们终于有了自己的种子。”

这颗种子，虽然功率只有30瓦，与阿斯麦的商用标准尚有差距，却足以支撑原型机通过关键测试，它也让曾经的质疑者感到意外，连德国的同行都不得不承认：“没想到中国人真的攻克了这条路线上最艰难的环节。”

如今，一条投资11亿元的产线已经投入试运行，这并非终点，但它证明了绕路策略的有效性，它像一个响亮的回应：我们不仅要正面追赶，还要学会换道，甚至开辟新道。

规则不公，那就改变规则

如果说DPP路线是“换道超车”，那么中国另一些实验室的探索，则更像是要从根本上动摇、甚至“重新定义交通规则”。这些看似分散的技术突破，正逐渐构成一套威力巨大的“组合拳”，剑指现有的技术格局。

清华大学薛其坤的团队，将目光投向了粒子加速器，他们探索的稳态微聚束（SSMB）光源技术，如果成功，不仅能提供比现有EUV更高的功率，更关键的是，它完全避开了传统的技术路径，展现出颠覆性的潜力。

这不再是选择一条不同的路去往同一个目的地，而是在尝试定义一个全新的“星辰大海”。

而在北京航空航天大学，一个团队正在研究“三元计算芯片的架构图”，当全世界都在二进制的赛道上竞速时，他们却另起炉灶，试图以三角形电路为基础，构建一种全新的计算模式。

这种三元芯片，理论上能让计算速度更快，功耗也更低，这种探索，挑战的是自计算机诞生以来最基础的设计逻辑。

这些努力，与当年中国航天领域从“长五”失利到建成空间站的历程何其相似，它不再是单点突破，而是一场多线并进的持久战。当一些人在追赶现有技术时，另一些人已经在构想并实践下一代技术，这是一场没有退路的创新，也是对未来的双向押注。

一串合格代码，胜过千言万语

那么，驱动这一切的，究竟是什么？

自2019年起，接连而至的制裁，如同重锤，带来了屈辱和怒火，也带来了彻骨的无奈，这些外部压力无疑成为了强大的催化剂，迫使每个人都必须正视问题。

可是一旦走进实验室，那些宏大的叙事便会烟消云散，在凌晨四点的寂静里，没有人会在意豪言壮语，唯一能点燃激情的，不是激动人心的口号，而是电脑屏幕上终于跳出的“合格”二字。

当测试通过的消息从视频会议里传来，当一个年轻学生第一次独立调通设备时难掩的兴奋，这些才是他们认为“值得”的瞬间。他们的目标很朴素，并非要“超越谁”，而是想“把技术牢牢攥在自己手里”，这是一种更深沉、更持久的动力。

它解释了为什么一家曾因缺芯而停产的长三角工厂，如今凭借搭载了新技术的国产芯片，订单能排到半年之后。也解释了为什么当工厂的机器重新转动起来，工人们不再需要轮流休假时，那种踏实感比任何奖章都更重要。

现在，实验室的灯依然亮着，数据还在不断刷新，参数还需要反复调试。外面的世界或许仍在争论中国光刻机之路的成败，但对身处其中的人而言，这条路已经没人觉得走不通了。

至于那句曾被当作战书的断言，现在听来，更像是一个遥远的、正在褪色的背景音。路还很长，但清晰的脚步声，已在中国大地上回荡。

参考信源：

全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”——财联社

https://v.douyin.com/GvJMh1RCVrQ/

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