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朗姆研究申请用于气体输送的模块部件系统专利,所公开的设备用于气体输送箱中的至少一个气体基元基板

抖音热门 2025年08月13日 13:33 1 admin

金融界2025年8月13日消息,国家知识产权局信息显示,朗姆研究公司申请一项名为“用于气体输送的模块部件系统”的专利,公开号CN120473408A,申请日期为2020年04月。

朗姆研究申请用于气体输送的模块部件系统专利,所公开的设备用于气体输送箱中的至少一个气体基元基板

专利摘要显示,在一实施方案中,所公开的设备是用于气体输送箱中的至少一个气体基元基板。所述至少一个气体基元基板中的每一者具有至少一个位置,气体输送部件将安装在所述至少一个位置上。所述至少一个位置具有形成于所述气体基元基板的主体中的至少一个气体输送部件入口端口和气体输送部件出口端口。包含气流路径的至少一对第一镗孔分别形成在所述气体输送部件的位置的上游侧和下游侧。公开了其他设备和系统。

本文源自金融界

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