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2025年02月24日 21:45 3
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证券日报网讯 机器人2月24日在互动平台回答投资者提问时表示，公司半导体装备产品主要有大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节的晶圆传输及搬运。公司清洁机器人产品——星卫来，主要为工业清洁机器人，可应用于车间或洁净车间内。
（编辑 袁冠琳）
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