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国林科技：关于半导体臭氧设备是否更适合于EUV光刻配套，业内处于工艺研究与试验中
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2025年08月11日 19:03 1
admin
证券日报网讯 8月11日有投资者在互动平台向国林科技提问“从技术研究成果来看，半导体臭氧设备是否更适合于EUV光刻配套？”公司回复“从技术角度来说，未来会是一种发展趋势，目前行业中依然处于工艺研究与试验中”。
（编辑 袁冠琳）
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