靖江新恒和申请基于ALD半导体设备气体喷淋头专利提高气体喷出孔孔径更换效率

健康生活 2025年08月10日 20:48 1 admin

金融界2025年8月9日消息，国家知识产权局信息显示，靖江新恒和半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于ALD半导体设备的气体喷淋头”的专利，公开号CN120438161A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体设备技术领域，具体来说涉及一种基于ALD半导体设备的气体喷淋头，包括固定设置于基座上的喷淋板，所述基座内可活动安装有喷孔座，所述喷孔座上固定安装有多个圆周阵列分布的延伸部，所述延伸部的端部开设有彻底贯穿喷孔座的喷淋孔。该发明提供的基于ALD半导体设备的气体喷淋头，利用喷孔座的延伸部上开设的喷淋孔作为位于喷淋板上的气体喷出孔，可通过拆卸更换喷孔座以实现对气体喷出孔孔径的更换，因此在更换气体喷出孔孔径的操作中不再需要额外对喷淋板和喷孔座进行水平度和直线度的检测的修正，从而提高气体喷出孔孔径的更换效率，便于实际使用。

天眼查资料显示，靖江新恒和半导体科技有限公司，成立于2017年，位于泰州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1800万人民币。通过天眼查大数据分析，靖江新恒和半导体科技有限公司参与招投标项目3次，专利信息19条，此外企业还拥有行政许可6个。

本文源自金融界