中微公司获得发明专利授权：“一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法”

抖音推荐 2025年08月10日 20:37 2 admin

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法”，专利申请号为CN202111657236.9，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本发明提供一种用于支撑基片托盘的支撑组件，包括一旋转轴和多个支撑杆。旋转轴顶部侧壁上开设多个安装槽，所述支撑杆包括依次连接的插入部、延伸部和支撑部，所述支撑部用于支撑基片托盘；多个支撑杆的插入部依次插入旋转侧壁的多个安装槽中，实现支撑组件的组装。其中安装槽和支撑杆的插入部上设置有定位结构，支撑杆位于安装槽下方空间时可以受支撑杆本身重力驱动，使得插入部自动向上运动到紧贴安装槽顶部倾斜面，实现支撑杆的自动定位。

今年以来中微公司新获得专利授权103个，较去年同期增加了18.39%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1535条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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