拓荆科技申请一种进气系统、控制方法及薄膜沉积设备专利，调节正向导通率

抖音热门 2025年08月09日 19:35 1 admin

金融界2025年8月9日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“一种进气系统、控制方法及薄膜沉积设备”的专利，公开号CN120443144A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明提供了一种进气系统、控制方法及薄膜沉积设备。所述进气系统包括：多条气体输送支路，向对应的多个工艺腔室分别输送反应气体；至少一个加热模块，设于至少一条所述气体输送支路上，其中，所述加热模块包括第一加热单元及第二加热单元，所述第一加热单元设于所述气体输送支路的进气端，所述第二加热单元设于所述气体输送支路的出气端；以及控制器，根据所述气体输送支路中反应气体的正向导通率与预设的目标导通率的差值，对所述气体输送支路的温度进行分区调控，以调节所述正向导通率。

天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息287条，此外企业还拥有行政许可29个。

本文源自金融界