迈纳德微纳取得避免石英管内壁镀膜的等离子体原子层沉积设备专利，解决前驱体源在石英管内部形成沉积物问题

游戏天地 2025年08月08日 20:23 1 admin

金融界2025年8月8日消息，国家知识产权局信息显示，江苏迈纳德微纳技术有限公司取得一项名为“一种避免石英管内壁镀膜的等离子体原子层沉积设备”的专利，授权公告号CN223201920U，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种避免石英管内壁前驱体源沉积的等离子体原子层沉积设备，包括等离子体发生器，真空腔体，插板阀和真空泵，其中，插板阀设置于等离子体发生器和真空腔体之间，通过在真空腔体和等离子体发生器中间增加大尺寸插板阀，杜绝了真空腔体中的前驱体源进入等离子体发生器内部的石英管，解决了前驱体源在石英管内部形成沉积物进而引发等离子体原子层沉积工艺不稳定、薄膜性能变差、设备维护成本较高的问题；同时考虑大尺寸插板阀在两边压差较大时可能损坏的问题，本方案将等离子体发生器与真空泵进行连接，并在中间增加隔膜阀，在插板阀关闭后打开隔膜阀，使得插板阀两边均与真空泵连接，解决插板阀两边较大压差损坏插板阀的问题。

天眼查资料显示，江苏迈纳德微纳技术有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏迈纳德微纳技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目101次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可8个。

本文源自金融界