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2025-08-20 0
近日
广东工业大学
省部共建精密电子制造技术与
装备国家重点实验室
传来突破性进展
陈新/陈云教授团队
联合苏州迈为科技股份有限公司
及其子公司迈为技术(珠海)
等行业龙头企业
在Mini/MicroLED显示领域
关键核心技术与装备研发上
取得重大突破
相关成果已实现产业化应用
为我国新型显示产业高质量发展
提供了强有力的科技支撑
突破“卡脖子”技术:自主创新破解行业核心难题
Mini/Micro LED 作为新一代显示技术,兼具高亮度、高对比度、低功耗等优势,符合 “双碳” 战略导向,在消费电子、高端显示等领域市场潜力巨大。然而,高效率、高良率的芯片巨量转移及键合技术,长期以来是制约产业发展的国际技术竞争焦点与 “卡脖子” 瓶颈。
在国家重点研发计划 “智能机器人” 专项支持下,广东工业大学科研团队勇闯技术 “无人区”,发明二维高频协同飞行刺晶新原理,通过 “飞行刺晶提速度、宏微复合保精度、定向补偿增良率” 的技术组合拳,构建起覆盖转移方法、键合工艺、核心部件、系统控制的全链条自主技术体系。针对更小尺寸的 Micro LED 转移难题,团队进一步突破高速精密对位、激光工艺协同、误差补偿等关键技术,累计获得 20 余项中美发明专利授权,形成了具有完全自主知识产权的技术壁垒。
图 | 双龙门飞行刺晶巨量转移装备
MX-MLPT-150A
图 | Mini LED芯片飞行刺晶动作示意图
产学研深度融合:核心装备性能达国际领先水平
通过与泛半导体装备头部企业苏州迈为股份的深度产学研合作,科研成果迅速转化为现实生产力。双方联合研发的飞行刺晶巨量转移机器人,实现了性能指标的跨越式提升:相较于传统固晶技术,单头效率从 2 万颗 / 小时(20K UPH)跃升至 30 万颗 / 小时(300K UPH),提升 15 倍;定位精度从 ±15 微米提升至 ±8 微米;适配芯片尺寸从 100μm×180μm 缩小至50μm×100μm,芯片面积减小 70%,显著降低原材料消耗与制造成本。
图 | Mini LED芯片刺晶转移COB中转制程样品
图 | Mini LED芯片COG刷锡直刺样品
该装备不仅在技术指标上达到国际领先水平,更实现了 Mini LED 巨量转移生产线的批量出货,为我国显示产业装上 “中国芯”。目前,相关装备已在大屏显示、会议一体机、家庭影院等商用与消费场景中规模化应用,推动我国高清显示产业升级。
前瞻布局未来:构建显示产业新质生产力
在突破 Mini LED 技术的同时,广东工业大学和苏州迈为科技股份有限公司及其子公司迈为技术(珠海)组成的联合攻关团队瞄准 Micro LED 前沿领域,实现激光剥离、巨转、键合、修复等核心设备国产化,全球首套 G3.5 代线激光键合设备已交付客户稳定量产。更值得关注的是,团队首创硅基 Micro LED 混合键合晶圆重构整体解决方案,覆盖晶圆研抛、飞秒激光切割、等离子体加工、混合键合等全流程关键设备,将半导体集成技术与新型显示创新融合,为超高清显示大规模量产开辟了新路径。
“科技自立自强是国家发展的战略支撑。” 团队相关负责人表示,未来校企双方将继续聚焦精密电子制造领域,深化产学研协同创新,全力突破更多 “卡脖子” 技术,为我国培育显示产业新质生产力、加快构建新发展格局贡献 “广东智慧” 与 “中国方案”,在推进中国式现代化建设中展现科技担当。
从实验室到生产线
中国智慧点亮超高清显示未来
攻坚克难诠释科技自立自强
创新之火永不熄
报国之路永向前
致敬每一位攀登科技高峰的奋斗者
以赤子之心书写时代答卷
敢闯敢创,未来已来!
来源:广东工业大学微信公众号、广东工业大学机电工程学院
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