秦青电子申请一种等离子蚀刻装置及方法专利，增强蚀刻气体等离子化强度

抖音快讯 2025年08月04日 22:01 1 admin

金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，西宁秦青电子科技有限公司申请一项名为“一种等离子蚀刻装置及方法”的专利，公开号CN120413401A，申请日期为2025年05月。

专利摘要显示，本发明提供了一种等离子蚀刻装置及方法，该蚀刻装置包括框架，所述框架上安装有工作台，所述工作台下方设有蚀刻箱，所述工作台上方安装有圆筒，所述蚀刻箱内设有工作腔，所述圆筒内设有等离子腔，所述圆筒外侧套设有螺旋线圈，所述框架上设有刻蚀气体供应机构、第一电力供应机构，所述工作腔内设有基台，所述基台上设有第二电力供应机构。本发明通过第一电力供应机构将高频率电力供应至螺旋线圈，在等离子腔内产生感应磁场；通过供应管将蚀刻气体供应至等离子腔内，感应磁场将蚀刻气体等离子化，同时多组环形设置且相互接触的锥形金属块位于螺旋线圈内，增强螺旋线圈在等离子腔内产生感应磁场强度，进而增强蚀刻气体等离子化强度。

天眼查资料显示，西宁秦青电子科技有限公司，成立于2005年，位于西宁市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，西宁秦青电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目119次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可3个。

本文源自金融界