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天津理工大学等申请固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用专利,振动位移很大

百科大全 2025年08月04日 20:37 1 admin

金融界2025年8月4日消息,国家知识产权局信息显示,天津理工大学;天津英孚瑞半导体科技有限公司申请一项名为“一种固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用”的专利,公开号CN120416749A,申请日期为2025年04月。

天津理工大学等申请固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用专利,振动位移很大

专利摘要显示,本发明公开了一种固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用。所述压电MEMS扬声器包括基底、上电极、压电层、下电极和振动膜,在所述基底上依次设置上电极、压电层和下电极,在所述上电极、压电层和下电极上刻蚀形成所述振动膜,以及环绕于振动膜周围的刻蚀间隙;本发明的固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器的振动位移很大,主要归结于固端梁振动位移和悬臂梁振动位移的叠加。

本文源自金融界

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