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专利摘要显示,本发明公开了一种固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器及其制备方法与应用。所述压电MEMS扬声器包括基底、上电极、压电层、下电极和振动膜,在所述基底上依次设置上电极、压电层和下电极,在所述上电极、压电层和下电极上刻蚀形成所述振动膜,以及环绕于振动膜周围的刻蚀间隙;本发明的固端梁-悬臂梁式压电MEMS扬声器的振动位移很大,主要归结于固端梁振动位移和悬臂梁振动位移的叠加。
本文源自金融界
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