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2025-08-07 0
金融界2025年8月4日消息,国家知识产权局信息显示,苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“惯性传感器的形成方法、惯性传感器及电子设备”的专利,公开号CN120403625A,申请日期为2025年07月。
专利摘要显示,本申请涉及一种惯性传感器的形成方法、惯性传感器及电子设备,其中惯性传感器的形成方法包括:形成具有第一绝缘层的结构晶圆并与器件晶圆键合;在器件晶圆上图形化出器件结构和与器件结构相独立的导电结构;在器件晶圆背离结构晶圆的一侧键合电连接晶圆;刻蚀结构晶圆以形成第一通孔,第一绝缘层于第一通孔中露出;第一通孔的投影与导电结构的投影重叠;刻蚀于第一通孔中露出的第一绝缘层,直至露出导电结构;在第一通孔的内壁和导电结构表面沉积导电材料,形成导电层。
天眼查资料显示,苏州敏芯微电子技术股份有限公司,成立于2007年,位于苏州市,是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本5588.7596万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目27次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息498条,此外企业还拥有行政许可17个。
本文源自金融界
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