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2025-08-07 0
ASML申请具有聚结前液滴检测模块的EUV光源靶标发生器专利，能实现聚结前液滴检测
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2025年08月04日 12:23 2
admin
金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“具有聚结前液滴检测模块的EUV光源靶标发生器”的专利，公开号CN120419289A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种极紫外(EUV)光源靶标发生器包括：细长的通道，聚结前液滴能够沿着该通道行进，该通道被通道壁围绕；位于通道壁中的窗口；以及被定位为接收通过窗口透射的光的聚结前液滴检测模块，聚结前液滴检测模块包括：被配置为收集和透射通过窗口接收的光的透镜系统、以及被配置为接收由透镜系统透射的光的光检测器。
本文源自金融界
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