厦门恒坤申请抗蚀剂下层膜单体等相关专利提高抗蚀剂下层膜的抗刻蚀性能

热门资讯 2025年07月25日 22:44 1 admin

金融界2025年7月25日消息，国家知识产权局信息显示，厦门恒坤新材料科技股份有限公司申请一项名为“一种抗蚀剂下层膜单体和抗蚀剂下层膜组合物以及图案形成方法”的专利，公开号CN120365225A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明属于光刻领域，具体涉及一种抗蚀剂下层膜单体和抗蚀剂下层膜组合物以及图案形成方法。所述抗蚀剂下层膜组合物含有如式(1)所示的抗蚀剂下层膜单体、芳香族聚合物和溶剂。本发明的关键在于引入含有三蝶烯苯并噁嗪结构的抗蚀剂下层膜单体，一方面高含碳量的三蝶烯结构能够提高抗蚀剂下层膜的抗刻蚀性能，另一方面含有三蝶烯苯并噁嗪结构的抗蚀剂下层膜单体结构稳定性好，且能够在加热条件下发生交联，使得形成的抗蚀剂下层膜具有提升的耐热性和耐刻蚀性能，还降低了抗蚀剂下层膜的亲水性，提高了其与光刻胶表面的粘附性，使得显影后的光刻胶图案不容易倒塌，光刻胶图案的线宽粗糙度(LWR)较小且形成图案效果好。

天眼查资料显示，厦门恒坤新材料科技股份有限公司，成立于2004年，位于厦门市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本38192.166万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门恒坤新材料科技股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息70条，此外企业还拥有行政许可22个。

本文源自金融界