神州半导体申请远程等离子源石英腔体气泡消除控制专利，减少石英腔体颗粒对制程腔室的污染

热门资讯 2025年07月24日 03:20 1 admin

金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，江苏神州半导体科技有限公司申请一项名为“一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置”的专利，公开号CN120354267A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明属于远程等离子源技术领域，提供了一种远程等离子源石英腔体气泡消除控制方法及装置，方法包括：获取石英腔体的气泡数据；基于随机森林算法获取工艺参数对于各气泡数据的重要性度；综合各气泡数据获得耦合重要性度；建立关于气泡数量M与气泡最大直径D的误差目标函数，对隶属度权值进行优化更新；将优化后的隶属度权值与对应的初始值进行比较，获得单位时间的各工艺参数变化率；根据气泡数量M与气泡最大直径D的误差率大小关系，依据工艺参数变化率对工艺进行动态优化。

天眼查资料显示，江苏神州半导体科技有限公司，成立于2016年，位于扬州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2345.679万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏神州半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息128条，此外企业还拥有行政许可23个。

本文源自金融界