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2025-07-26 0
金融界2025年7月23日消息,国家知识产权局信息显示,厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“一种应用于peald设备的等离子体装置”的专利,授权公告号CN223142196U,申请日期为2024年09月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种应用于peald设备的等离子体装置,涉及等离子体设备技术领域。包括:一等离子体壁管,所述等离子体壁管采用氮化铝材质制成,以使得在等离子体壁管内建立等离子体后,等离子体对壁管的刻蚀效应不会产生氧元素;一RF线圈,所述RF线圈设置于所述等离子体壁管外侧以用于提供向等离子体壁管提供激发电磁场;一法拉第屏蔽筒,所述法拉第屏蔽筒设置于所述等离子体壁管与所述RF线圈之间,以用于对等离子体中的容性能量进行屏蔽。通过本方案可以有效提高等离子体装置的使用寿命以及降低氧元素的影响。
天眼查资料显示,厦门韫茂科技有限公司,成立于2018年,位于厦门市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本538.051265万人民币。通过天眼查大数据分析,厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目94次,财产线索方面有商标信息19条,专利信息95条,此外企业还拥有行政许可12个。
本文源自金融界
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