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专利摘要显示,本公开提供了一种用于控制温度的装置和方法。提供了一种用于控制温度的装置,包括:腔室,内部具有处理空间;衬底支撑单元,设置在腔室中,并且支撑衬底;加热单元,包括安装在腔室的上部中并对腔室的上部进行加热的加热构件;冷却单元,包括安装在腔室的上部中并对腔室的上部进行冷却的冷却构件;以及控制器,控制加热单元和冷却单元。
本文源自金融界
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